Улучшенный cканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки
Это модернизированная версия EM8000 с улучшенным ускоряющим напряжением в электронно-лучевой трубке, изменяемым вакуумным режимом, возможностью иследования непроводящего образца при низком напряжении без напыления. Имеет простую и удобную систему управления, с возможностью расширения. Это первый сканирующий электронный микроскоп с электронной пушкой с полевой миссией, который имеет разрешение менее 1 нм при 30 кВ.
Многоязычная операционная система, встроенная панель дистанционного управления с трекболом, комплексный план послепродажного обслуживания с пожизненной технической поддержкой.
Особенности
◆ Высокоэффективная электронная пушка с полевой эмиссией с катодом Шоттки, хорошая монохромность, тонкий электронный пучок;
◆ Отличная яркость и высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении;
◆ Возможность ускорения и замедления пучка электронов;
◆ Возможность исследования непроводящих образцов и образцов чувствительных к пучку электронов, без напыления проводящим материалом при низком напряжении;
◆ Стабильный электронный пучок и незначительная дисперсия позволяют проводить различные точные анализы образцов в течение длительного времени;
◆ Превосходные характеристики ускорения электронов при низком давлении;
◆ Низкое энергопотребление;
◆ Простой и удобный интерфейс управления;
◆ Большая камера для образцов, удовлетворяющая различным потребностям пользователей при проведении исследований;
◆ Большой пятиосевой автоматизированный столик;
◆ Длительный срок службы,.
Область применения
Аккумуляторы, полупроводники, композиционные материалы, полимеры, животные и растения, микроорганизмы, порошковая металлургия, полезные ископаемые, металлургическая промышленность, строительные материалы, химические материалы, керамические материалы.
Размеры
Электронно-оптическая колонна: 1000×1000×1730 (мм)
Блок электроники и управляющий компьютер: 1330×850×740 (мм)
Модификации
EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, ручной блок управления, трекбол, SEM+система напыления, SEM+лазер.
Дополнительные аксессуары
CCD (ПЗС - прибор с зарядовой связью), EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления.
Технические характеристики
Разрешение |
0,9 нм при 30 кВ (SE) 2,5 нм при 30 кВ (BSE) |
Увеличение |
2X ~ 3000000X |
Электронная пушка |
Электронная пушка с полевой эмиссией с катодом Шоттки |
Ускоряющее напряжение |
0,02 ~ 30 Кв |
Система линз |
Многоступенчатая высокоэффективная система линз, конический объектив с низкой аберрацией |
Столик для образцов |
Пятиосевой полностью автоматизиррованный столик для образцов |
Диапазон перемещений X |
0 ~ 150 мм |
Y |
0 ~ 150 мм |
Z |
0 ~ 60 мм |
R |
360° |
T |
-5° ~ 75° |
Максимальный диаметр образца |
320 мм |
Длина, ширина и высота внутрикамерного пространства |
342 мм*324 мм*320 мм |
Детекторы | Высоковакуумный детектор вторичных электронов (SE) (с функцией защиты детектора)
Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния электронов (BSE) |
Модификации |
EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, ручной блок управления, трекбол, SEM+система напыления, SEM+лазер |
Дополнительные аксессуары |
EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления |