EM8100

Улучшенный cканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки

Это модернизированная версия EM8000 с улучшенным ускоряющим напряжением в электронно-лучевой трубке, изменяемым вакуумным режимом, возможностью иследования непроводящего образца при низком напряжении без напыления. Имеет простую и удобную систему управления, с возможностью расширения. Это первый сканирующий электронный микроскоп с электронной пушкой с полевой миссией, который имеет разрешение менее 1 нм при 30 кВ.

Многоязычная операционная система, встроенная панель дистанционного управления с трекболом, комплексный план послепродажного обслуживания с пожизненной технической поддержкой.

 

Особенности 

◆ Высокоэффективная электронная пушка с полевой эмиссией с катодом Шоттки, хорошая монохромность, тонкий электронный пучок;

◆ Отличная яркость и высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении;

◆ Возможность ускорения и замедления пучка электронов;

◆ Возможность исследования непроводящих образцов и образцов чувствительных к пучку электронов, без напыления проводящим материалом при низком напряжении;

◆ Стабильный электронный пучок и незначительная дисперсия позволяют проводить различные точные анализы образцов в течение длительного времени;

◆ Превосходные характеристики ускорения электронов при низком давлении;

◆ Низкое энергопотребление;

◆ Простой и удобный интерфейс управления;

◆ Большая камера для образцов, удовлетворяющая различным потребностям пользователей при проведении исследований;

◆ Большой пятиосевой автоматизированный столик;

◆ Длительный срок службы,.

 

Область применения

Аккумуляторы, полупроводники, композиционные материалы, полимеры, животные и растения, микроорганизмы, порошковая металлургия, полезные ископаемые, металлургическая промышленность, строительные материалы, химические материалы, керамические материалы.

 

Размеры

Электронно-оптическая колонна: 1000×1000×1730 (мм)

Блок электроники и управляющий компьютер: 1330×850×740 (мм)

 

Модификации

EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, ручной блок управления, трекбол, SEM+система напыления, SEM+лазер.

 

Дополнительные аксессуары

CCD (ПЗС - прибор с зарядовой связью), EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления.

 

Технические характеристики

 Разрешение     

0,9 нм при 30 кВ (SE)

2,5 нм при 30 кВ (BSE)

Увеличение

 2X ~ 3000000X

Электронная пушка

Электронная пушка с полевой эмиссией с катодом Шоттки

Ускоряющее напряжение

0,02 ~ 30 Кв 

Система линз

Многоступенчатая высокоэффективная система линз, конический объектив с низкой аберрацией

Столик для образцов

Пятиосевой полностью автоматизиррованный столик для образцов

Диапазон перемещений

0 ~ 150 мм

0 ~ 150 мм

 0 ~ 60 мм

R

360°

-5° ~ 75°

Максимальный диаметр образца

320 мм 

Длина, ширина и высота внутрикамерного пространства

342 мм*324 мм*320 мм

Детекторы Высоковакуумный детектор вторичных электронов (SE) (с функцией защиты детектора)

Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния электронов (BSE)

 Модификации

 EBL (система электронно-лучевой литографии), STM (сканирующий туннельный микроскоп), АFМ (атомно силовой мкроскоп), столик для нагрева, крио столик, столик для растяжения, наноманипулятор, ручной блок управления, трекбол, SEM+система напыления, SEM+лазер

Дополнительные аксессуары

  EDS (рентгеновский детектор энергодисперсионной спектроскопии), EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), CL (катодолюминесцентный детектор), WDS (система волнодисперсионного анализа), система напыления